產品詳情
微流控芯片PDMS微流控芯片加工系統 EasyPDMS
圖片
簡介
PDMS芯片制作方便、成本低、生物相容性好，是前期驗證微流控實驗的絕佳芯片解決方案.此芯片加工系統支持定制。我們提供PDMS芯片加工實驗室設計與搭建的一站式服務，從潔凈間設計到實驗室布局，再到設備選擇，以及您采購后的安裝調試及培訓，您只需要提出需求，我們可以做到交鑰匙工程。當然，系統里的每個模塊也支持單獨售賣，您可以根據自己需求挑選設備。
功能圖解
PDMS芯片制作工藝一般包含以下步驟：① 清洗；② 勻膠；③ 曝光光刻；④ 顯影；⑤ 烤膠；⑥ PDMS成型；⑦ 等離子表面活化處理；⑧ 鍵合；⑨ 打孔。EasyPDMS芯片加工系統可以順利完成以上所有流程。
應用系統
PDMS芯片制作
規格參數
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項目
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參數
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適用芯片
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PDMS芯片制作
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最小結構分辨率
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2um
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處理基板尺寸
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4”（φ10cm）
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工藝及設備對應表格：
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工藝名稱
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設備儀器名稱
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型號
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清洗
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等離子清洗機
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CUTE
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超聲清洗機
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市售標準型號
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勻膠
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勻膠顯影機
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SC100
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PDMS成型機
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ZentriForm
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曝光光刻(2選1）
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曝光機
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UV-KUB 2
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UV-KUB 3
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顯影(2選1）
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勻膠顯影機
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SC100
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簡易顯影池
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客戶自備
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烤膠
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精密熱板
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HP100
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PDMS成型(2選1）
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PDMS成型機
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ZentriForm
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培養皿/熱板
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客戶自備培養皿/HP100
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表面活化處理
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等離子清洗機
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CUTE
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鍵合
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精密熱板
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HP100
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打孔
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打孔器
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PDMS Port Creator
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打孔針
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市售標準型號
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